不管是什么部件，在其生产过程中，至少都要进行1次～数次的清洗工序。清洗质量的好坏直接影响到成品率的提高。 最近，随着电子方面精密加工技术的发展，在很多领域内用传统的清洗方法已不能进行充分的清洗，因此人们开发出了几种新的清洗方法。 但是，即使在新开发的清洗设备中，也是各有长处和短处，因此目前还做不到普及应用。在此介绍的紫外线―臭氧清洗设备(以下称UV‐O3清洗)，其适用范围广，且不会对被处理物产生不良影响，可简便地进行精密清洗。 目前所应用的清洗技术多种多样。根据不同的清洗方法，大致可分为湿式清洗和干式清洗两种。该UV‐O3清洗法带有干式清洗的特点。
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