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利用紫外线-臭氧进行的表面处理

日期: 2016-11-16
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利用紫外线-臭氧进行的表面处理

不管是什么部件,在其生产过程中,至少都要进行1次~数次的清洗工序。清洗质量的好坏直接影响到成品率的提高。

最近,随着电子方面精密加工技术的发展,在很多领域内用传统的清洗方法已不能进行充分的清洗,因此人们开发出了几种新的清洗方法。

但是,即使在新开发的清洗设备中,也是各有长处和短处,因此目前还做不到普及应用。在此介绍的紫外线―臭氧清洗设备(以下称UV‐O3清洗),其适用范围广,且不会对被处理物产生不良影响,可简便地进行精密清洗。

目前所应用的清洗技术多种多样。根据不同的清洗方法,大致可分为湿式清洗和干式清洗两种。该UV‐O3清洗法带有干式清洗的特点。



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